Ø 超精密运动控制技术是高精 度数控机床、半导体、医疗 等众多高端设备的关键基础 技术；

Ø 直线定位精度可<±0.5μm， 旋转定位精度 可达±1角秒， 具备晶圆级运动平台的技术 能力；

Ø 可以应用在直线电机 、DD 马达 、五轴加工中心 、五 轴精雕机 、点胶机 、比对 仪 、循环线等。